solution
解決方案
半導體/AMHS
Semiconductor/AMHS
以精準控制、智能協作與高度彈性為核心，透過演算法調度確保流程穩定高效，並以模組化架構支援快速調整與擴充，打造可靠、可延展的先進製程物流。
特色
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精準控制，打造穩定的製程流程
以演算法驅動的搬運調度進行精準路徑與節點控制，降低變異，確保製程節奏穩定。 -
智能協作，強化系統整體效能
多模組間透過即時數據交換自動協作，實現負載平衡、路徑優化與設備使用率最大化。 -
彈性延展，支援高度模組化部署
採用模組化架構與可變拓樸設計，可隨產線更新快速調整配置，支援長期的擴充與升級需求。
以智慧調度打造高效率、無縫銜接的生產流程
AMHS 透過精準調度與即時協作，整合關鍵設備， 讓晶圓在各製程間穩定、順暢地自動流動。 系統採用可擴充的模組化設計，可依產線需求快速調整配置， 提升整體運作效率，協助晶圓廠建立可靠且具彈性的自動化搬運環境。
系統流程
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AMHS 自動化物流 FOUP 識別與追蹤
利用 RFID/視覺識別，實現所有搬運載具的即時身份識別和精確位置追蹤，確保物料流動的透明化 -
製程設備/前端工具-FOUP驗證製程控制
在設備端對進站載具進行身份驗證，並自動記錄製程參數，確保製程執行正確且數據可追溯。
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晶圓分選和傳輸系統-用於層間和層內移動的 FOUP 識別
透過 FOCP 識別和控制 AGV/移動機器人，實現跨區域、高效率的物料分揀、轉移和智慧路徑調度。 -
堆高機和架空式起重機運輸(OHT)系統
管理自動倉儲 (Stocker) 儲位和 OHT 運輸，實現載具的準確入庫/出庫和空中運輸的穩定控制。
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載體清潔和維護系統- FOUP 追蹤和追朔
追蹤每個載具的使用履歷和清潔週期，確保載具在重新投入生產前，潔淨度經過驗證和記錄。 -
FOUP 管理與物流站追蹤與調度驗證
提供工廠物流的全流程管理介面，並在關鍵交接點進行最終數據核對與驗證，確保物流調度的準確無誤
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