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ソリューション
半導体/AMHS
Semiconductor/AMHS
精密な制御、スマートな協調、高い柔軟性を核心とし、アルゴリズムによるスケジューリングでプロセスの安定性と効率を確保。さらにモジュール化アーキテクチャにより迅速な調整と拡張をサポートし、信頼性が高く拡張可能な先進製造物流を構築します。
特徴
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精密な制御で、安定した製造プロセスを実現
アルゴリズム駆動の搬送スケジューリングにより、経路とノードを精密に制御し、変動を低減してプロセスのリズムを安定させます。 -
スマートな協調により、システム全体の性能を強化
複数モジュール間でリアルタイムデータを交換し自動協調することで、負荷の均衡、経路の最適化、設備稼働率の最大化を実現します。複数モジュール間でリアルタイムデータを交換し自動協調することで、負荷の均衡、経路の最適化、設備稼働率の最大化を実現します -
柔軟に拡張可能で、高度なモジュール化展開をサポート
モジュール化アーキテクチャと可変トポロジー設計を採用し、生産ラインの更新に応じて迅速に構成を調整可能。長期的な拡張やアップグレードのニーズに対応します。
スマートなスケジューリングで、高効率かつシームレスな生産プロセスを構築
AMHSは精密なスケジューリングとリアルタイム協調により、重要設備を統合し、ウェーハが各プロセス間で安定かつスムーズに自動で流れるようにします。システムは拡張可能なモジュール化設計を採用しており、生産ラインのニーズに応じて迅速に構成を調整可能です。これにより全体の運用効率を向上させ、ウェーハ工場に信頼性が高く柔軟な自動搬送環境を構築することを支援します。
システムフロー
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AMHS 自動化物流におけるFOUPの識別と追跡
RFIDやビジュアル識別を活用し、すべての搬送キャリアのリアルタイムな識別と正確な位置追跡を実現し、資材の流れの透明性を確保します -
製造設備／フロントエンドツール - FOUP検証プロセス制御
設備側で進入キャリアの身元を認証し、プロセスパラメータを自動で記録することで、プロセスの正確な実行とデータの追跡可能性を確保します。
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ウェーハ分選・搬送システム - レイヤ間およびレイヤ内移動用FOUP識別
FOCPによる識別とAGV／移動ロボットの制御を通じて、エリア間での高効率な資材仕分け、搬送、およびスマートルートスケジューリングを実現します。 -
スタッカークレーンおよびオーバーヘッドトランスポート（OHT）システム
自動倉庫（ストッカー）の格納位置とOHT輸送を管理し、キャリアの正確な入出庫および空中輸送の安定制御を実現します。
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キャリア清掃・メンテナンスシステム - FOUP追跡およびトレーサビリティ
各キャリアの使用履歴と清掃サイクルを追跡し、再投入前にキャリアの清浄度が検証および記録されていることを保証します。 -
FOUP管理および物流ステーションの追跡・スケジューリング検証
工場物流の全工程管理インターフェースを提供し、重要な引き渡しポイントで最終データの照合・検証を行い、物流スケジューリングの正確性を確保します
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